Karakterisasi Sensor Gas CO Berbasis Bahan SnO2 dengan Metoda Solgel Menggunakan Teknologi Film Tebal

Abstract

Sensor gas SnO2 termasuk sensor yang paling banyak digunakan dan dikembangkan di pasaran, tapi sampai saat ini belum bisa menghasilkan sensitivitas yang tinggi. Dalam penelitian ini dibahas mengenai karakterisasi sensor gas CO dengan teknologi film tebal yang berbahan SnO2 dan diharapkan dapat menghasilkan sensor dengan sensitivitas yang tinggi. Hasil XRD menunjukan bahwa struktur dari SnO2 adalah rutile tetragonal. Dari pola difraksi terlihat puncak-puncak 110 dan 101 yang menunjukkan pola difraksi yang dibentuk oleh kristal SnO2. Hasil SEM menunjukkan bahwa ukuran sensor dapat mencapai 264 nanometer. Hasil EDS (Energy Dispersive X Ray Spectroscopy) menunjukkan bahwa lapisan sensor yang terbentuk memiliki komposisi O2 (Oksigen) dengan persen massa 21,23% dan Sn (Stanum) dengan persen massa 78,77%. Pengujian sensor dilakukan untuk mengetahui pengaruh perubahan temperatur operasional dan konsentrasi gas terhadap resistansi sensor. Perubahan yang terjadi dalam sensor gas ini, berupa resitansi yang menurun dengan bertambahnya temperatur dan konsentrasi gas CO. Dari hasil pengujian tersebut diketahui bahwa komponen-komponen penyusun sensor dapat merespon adanya gas CO. Nilai sensitivitas yang baik didapat dari hasil pengujian untuk rentang konsentrasi gas 0-500 ppm adalah 9,10-3/ppm.